
“我们是全市第一家生产不锈钢EP母管的企业,也就是说,我们是全市第一家能把82毫米直径的实心管坯,拉成6.35毫米直径BA不锈钢半导体洁净管道的企业。近年来,趁着半导体迅猛发展的东风,我们已经跟海内外几家相关头部企业进行了合作,产量增速也在翻倍……”浙江森脉洁净特材有限公司(以下简称森脉)董事长金进忠表示,公司实施了产业转型升级,彻底跳出从传统拉丝低端加工赛道,向半导体高端产业核心材料供给商实现跨越式蜕变,让传统产业向“新”向“智”发展,推动数智化绿色化高质量改造。
重金引智引技,实现产业升级
“前几年,我们先后多次考察了国内外的优秀半导体企业,全面了解了生产设备和生产工艺……甚至高薪聘请韩国半导体专家来森脉指导生产……”森脉公司总经理周银告诉记者,他们彻底摒弃传统拉丝生产工艺改造产线,引进国外专业技术团队,搭建起对标国际水准的半导体管材专业化生产体系,围绕高端制造实现“以国代进”新标杆。
在生产车间,员工寥寥无几,工序却井井有条。周银指着正在处理管材光亮退火工艺现场说,这个工序必须在纯氢保护气氛下进行1050摄氏度光亮退火,才能消除加工应力,还原表面铬氧化膜,获得BA级光亮面。周银补充说道,这一工艺过程在封闭环境中进行,通过精确控制保护气体氛围与温度参数,避免管材表面在高温下发生氧化反应。相较于普通退火后表面形成的氧化层,BA处理后的管材表面不会生成可见的氧化色斑或锈迹。
“我们的不锈钢BA管生产工艺采用冷轧+精拉工艺引进国外高精度合金模具制成,精度可达到0.05毫米以下,还采用摇摆式高温清洗循环过滤回收技术代替传统的化学清洗和超声波清洗。”周银笑了笑说,这项技术在大大降低对环境影响的同时,提高了表面的超洁净度,不留油污。哪怕材质同样是316L,工艺不达标,照样会成为半导体产线污染的“隐形杀手”。
面对高端市场对管材洁净度、尺寸公差、稳定性越来越高的要求,森脉聚焦精密不锈钢BA管全流程生产制造能力。为此,森脉逐年投入巨额研发经费克难攻坚,改良技术。据了解,企业已获得1项发明专利和7项实用新型专利。值得一提的是今年两项实用新型专利:一种不锈钢管加工用自动送料机构,提高了钢管的加工效率,方便钢管进行补料,降低钢管的补料难度,提升钢管补料效率;一种不锈钢管加工用涡流检测装置,实现了对不良钢管与良品钢管的自动筛分,及时将不良钢管剔除,解放了人工,满足工厂大批量生产的需求。
筑牢品质根基,打造特材标杆
“在半导体领域,BA管的品质直接关系下游客户生产安全与产品良品率,容不得半点马虎……在芯片微纳米级别的制程里,一粒微尘,就能废掉一整片晶圆,造成的损失动辄数万、数十万。”在金进忠看来,森脉不断优化生产工艺,持续攻克薄壁高精度管材生产难点,规格覆盖多种常用尺寸,既可批量标准化供货,也可根据客户需求提供定制化生产。目前,产品完全适配半导体晶圆厂、面板、光伏新能源等高精场景,各项指标对标进口标准,性价比和交付优势拉满,也是目前很多新建、扩建半导体产线的首选国产管材。
森脉,转型升级不止是产品和业务的升级,更是责任与使命的升级。“精密特种不锈钢管材是半导体产业的‘微小核心基材’,看似细分小众,却是保障芯片制造工艺稳定、产品良率的关键基础,是高端制造产业链不可或缺的核心环节。”金进忠坦言,半导体产线输送的是超高纯特气、超纯水、腐蚀性工艺介质,对管材的要求严苛到离谱,管壁不能掉颗粒、不能析出金属离子、内壁不能藏污纳垢、不能吸附气体杂质。森脉顶住转型压力、投入重金引技引智,一路突破技术壁垒、补齐产品短板,努力成为国内半导体特种管材领域的标杆企业。
行业内多数厂家外购冷轧管、外协退火,仅做末端加工,导致品质不可控、批次参数波动大;森脉自产自销,从源头保障每支管材的性能一致性,彻底解决行业“批次品质不均”的核心痛点。“我们实现了原材料集采、生产制造、物流交付的全链路成本优化,在保障产品高端品质的同时,为客户提供极具竞争力的供应链解决方案。”金进忠接着说,随着全球半导体扩产与生物制药产能转移,森脉已完成二期年产500万米洁净管产线规划,将在工艺对接、联合认证、本地化库存方面与客户深度协同。